空氣汙染防制

台積公司致力於空氣汙染減量,除了符合台灣「半導體製造業空氣汙染管制及排放標準」及「固定汙染源空氣汙染物排放標準」外,在空氣汙染防制的做法,採用源頭分類、多段有效處理的最佳可行技術,並與業界專家持續合作,提升末端防制設備處理效能,使排入大氣的汙染物含量符合或優於政府規定。

策略、目標與績效

策略
  • 最佳可行技術
    採用最佳可行技術處理營運產生的汙染,降低環境衝擊
  • 防制設備強化監測
    利用備援系統及雙軌管理搭配多種汙染物監測儀確保防制設備正常運作,避免異常事件發生
2019
2020
2030

空氣汙染防制處理流程

台積公司針對不同製程氣體特性,增設高效率空氣處理設備,有機廢氣的平均削減率已連續5年超過95%,優於法規90%規範。全公司揮發性有機氣體平均削減率亦提升至97.8%。

防制技術持續精進

台積公司為提升空汙防制設備性能,不斷持續鑽研減量技術,同時從廠區空間、技術安全、經濟效益等面向評估可行性,並考量防制技術的減量效益,多面向綜合評估是否導入該項防制技術。
註: 圓圈大小為該項技術防制的重要性,汙染物排放量愈大者為重要減量目標
台積公司空氣汙染防制符合台灣及海外廠區所在地之法規標準,所有的空汙防制設備均至少設置一套備援系統,並建置自動監測設施,隨時掌握各系統廢氣處理成效。

請參閱台積公司民國108年度 企業社會責任報告書 –

綠色製造 - 空氣汙染防制

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