水管理

隨著半導體製程自平面式架構趨向立體式的三維鰭式場效電晶體（FinFET）發展，各類化學品材料種類及用量亦隨製程複雜化日益增加。從晶圓清洗至無塵環境的維持，水都扮演關鍵角色。台積公司透過水資源風險管理、拓展多元水資源、防治技術開發三大面向，建構水循環在各層面的應用，使每一滴水在廠區的使用效率最大化，民國108年，更進一步調配廠區水管理架構，使廠區水資源能因應季節氣溫變化進行合理分配。