水管理

隨著半導體製程自平面式架構趨向立體式的三維鰭式場效電晶體(FinFET)發展,各類化學品材料種類及用量亦隨製程複雜化日益增加。從晶圓清洗至無塵環境的維持,水都扮演關鍵角色。台積公司透過水資源風險管理、拓展多元水資源、防治技術開發三大面向,建構水循環在各層面的應用,使每一滴水在廠區的使用效率最大化,民國108年,更進一步調配廠區水管理架構,使廠區水資源能因應季節氣溫變化進行合理分配。

策略、目標與績效

策略
  • 水資源風險管理
    執行減緩氣候風險方案,持續落實日常節水與缺水調適
  • 拓展多元水資源
    整合公司內部與外部資源,發展再生水技術,持續落實製程節水與再生水利用
  • 防治技術開發
    提升水汙染防治處理效能,加強去除廢水中汙染物
2019
2020
2030

五大水資源管理行動

台積公司視水資源管理為企業氣候變遷風險管理與天然災害調適的重要一環,為了遵循策略以達成目標, 台積公司發展五項核心行動,落實水資源管理。

節水措施及成果

台積公司著重「廠務系統用水減量、增加廠務廢水回收、提升系統產水率、降低系統排水損失」四大節水方向,不斷尋求節水機會。民國108年,總計新增節水量達328萬公噸。
台積公司水資源來源包含自來水、空調冷凝水及雨水。因應多元供水政策,目前正持續推動再生水使用進程,以實際行動支持、拓展永續的淡水供應與回收。
註: 民國 110 年後供水期程及水量,依據台積公司與政府單位(南部科學園區管理局、台南市政府)簽訂之再生水用水契約內容計算整理
台積公司民國108年度製程用水回收率平均達86.7%,總回收水量達133.6百萬公噸,年度新增節水措施節水量超越前年度目標187%。
台積公司依製程廢水成份與濃度分門別類建立38種分流系統,建置完整的廢水分類及資源化系統,搭配後續處理設備,使各廢水系統有效降解汙染物、並經由回收系統濃縮再利用,再次降低汙染物濃度,達到汙染物減量與循環利用的雙重目標。
單位:ppm

廢水水質指標性汙染物防治技術與改善成果

化學品項目 民國108年
現況
園區管理局
納管標準
民國114年
目標
民國108年
改善成果 (以民國103 年為基準年)
防治技術
氫氧化四甲基銨 7.86 竹科:30
中科:20
南科:60
1.0 較基準年減量74%
  • 回收低濃度廢液
  • 新增陰離子樹脂塔
銅離子 0.09 竹科:1
中科:0.8
南科:1.5
0.1 較基準年減量76%(提前達成民國114年目標)
  • 含銅廢液分流與電鍍
氨氮 17.31 竹科:30
中科:20
南科:60
20 較基準年減量89%(提前達成民國114年目標)
  • 擴充氨氮處理系統
  • 處理設施更新,增進處理效率
化學需氧量 185.5 竹科:500
中科:500
南科:450
100 較基準年增加54%
  • 氣提塔(Stripper)燃燒處理評估規畫中
  • 建置生物處理系統(Bioprocess)評估規畫中

請參閱台積公司民國108年度 企業社會責任報告書 –

綠色製造 - 水管理

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